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1200℃集成型自動小型PECVD系統
1200度小型PECVD系統
1200℃滑動雙溫區/多溫區PECVD系統
1200℃預加熱滑動雙溫區/多溫區PECVD系統
1200℃雙管滑動式單、多溫區CVD系統
1200℃滑動式單、雙、三溫區CVD系統
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